안녕하십니까 삼성반도체에서 CD SEM 장비를 관리하고 있습니다
MK4라는 자장 CANCELLER를 설치해서 자장이 차단되는 것을
확인했습니다 이 곳에서 이 모델을 취급하는지는 잘모르겠으나
자장차폐기의 원리는 다 비슷할거라고 생각되는데요
SEM장비와 어떤 연관성을 가지고 차폐기가 사용되는지
또 그자장은 설비자체에서 나오는 자장을 차단하는건지
외부자장을 차단하는것인지
어떤 원리로 동작이 되는것인지 알고싶습니다
증명할수있는 데이터가 있으면 좋겠구요
개선 내용에 대해발표자료로 사용하려하니 자료 도움 요청드리겠습니다
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